在镀膜过程中，由于膜料杂质和环境污染因素，导致在膜层生长过程中形成节瘤，在强激光作用下会导致节瘤的崩裂，使光学薄膜器件损伤。同方中科超光公司经过改变激光参数，反复实验发现，特定峰值功率密度的激光可以去除膜层中的节瘤而不损伤其它部分。

基于此研究结果，同方中科超光公司通过自主设计研发，于近日率先推出薄膜表面节瘤缺陷清除仪，不仅可以去除膜层中的节瘤，提升其抗激光损伤能力，而且在光学元件镀膜前，还可利用此设备对光学镜片和激光晶体表面清洗，提升光学元件表面的抗损伤性能。